蒸汽機的發(fā)展首先體現(xiàn)在功率和效率的提高，而這又主要取決于蒸汽參數(shù)的提高。初期蒸汽機的蒸汽壓力僅為0.11～0.13兆帕，19世紀初才達到0.35～0.7兆帕，20世紀20年代曾用到6～10兆帕。在蒸汽溫度上，19世紀末還不超過250℃，而到20世紀30年代曾用到450～480℃。

至于效率，瓦特初期連續(xù)運轉(zhuǎn)的蒸汽機，按燃料熱值計總效率不超過3%；到1840年，凝汽式蒸汽機總效率可達8%；到20世紀，蒸汽機效率可達到20%以上。

在轉(zhuǎn)速方面，18世紀末瓦特蒸汽機僅40～50轉(zhuǎn)/分；20世紀初轉(zhuǎn)速達到100～300轉(zhuǎn)/分，個別蒸汽機曾達到2500轉(zhuǎn)/分。在功率方面，最初單機功率僅幾馬力，20世紀初的一臺船用蒸汽機的功率可達25000馬力。

隨著蒸汽參數(shù)和功率的提高，蒸汽已不可能在一個汽缸中繼續(xù)膨脹，還必須在相連接的汽缸中繼續(xù)膨脹，于是出現(xiàn)了多級膨脹的蒸汽機。蒸汽機因受到潤滑油閃點的限制，所用蒸汽的最高溫度一般都不超過400℃，機車，船用等移動式蒸汽機還略低一些，多數(shù)不高于350℃。考慮到膨脹的可能性和結(jié)構(gòu)的經(jīng)濟性，常用壓力在2.5兆帕以下。蒸汽參數(shù)受到限制，從而也限制了蒸汽機功率的進一步提高。